Leybold冷凍泵#萊寶高真空泵#萊寶COOLVAC低溫泵 COOLVAC vacuum pumps are gas entrapment cryo pumps where gaseous substances are bound to the cold surfaces within the pump by means of cryocondensation, cryosorption or cryotrapping. For that purpose the cold surfaces （cryopanels） must be cooled to a sufficiently low temperature. The COOLVAC pumps are cooled by two-stage cold heads of the COOLPOWER series using the Gifford/McMahon principle. COOLVAC pumps produce a hydro carbon free ultra high vacuum in the pressure range from 10-3mbar to 10-11 mbar （0.75•10-3 to 0.75•10-11Torr）. Leybold萊寶低溫(wen)泵(beng)是利用低溫(wen)表(biao)面冷凝氣體(ti)的原理制(zhi)作的真空泵(beng)。Leybold萊寶低溫泵(beng)是獲得清潔真(zhen)空的極限壓力zui低、抽氣速(su)率zui大的真(zhen)空泵(beng)，Leybold萊寶低溫(wen)泵廣(guang)泛(fan)應用于半導(dao)體和(he)集(ji)成電路的研究和(he)生產，以及(ji)分子束研究、真空(kong)鍍膜設(she)備、真空(kong)表面分析(xi)儀器、離子注入機和(he)空(kong)間模擬(ni)裝置等(deng)方面。 
Leybold冷凍泵#萊寶高真空泵#萊寶COOLVAC低溫泵 COOLVAC 800 BL
零件。844160V1006
泵送速度：800升/秒的
高真空連接法蘭：DN 160 ISO-K
連接真空法蘭脫穎而出：DN 25 ISO-KF COOLVAC 800 BL
零件。844160V1002
泵送速度：800升/秒的
高真空連接法蘭：DN 160 CF
脫穎而出真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF COOLVAC 800 BL
零件。844160V9002
泵送速度：800升/秒的
高真空連接法蘭：DN 160 CF
脫穎而出真空連接法蘭：DN 40 CF COOLVAC 800 CL
零件。844160V0006
泵送速度：800升/秒的
高真空連接法蘭：DN 160 ISO-K
連接真空法蘭脫穎而出：DN 25 ISO-KF COOLVAC 800 CL
零件。844160V0002
泵送速度：800升/秒的
高真空連接法蘭：DN 160 CF
脫穎而出真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF COOLVAC 1.500 CL
零件。844200V0006
泵送速度：1.500升/秒的
高真空連接法蘭：DN 200 ISO-K
連接法蘭前真空：DN 25 ISO-KF COOLVAC 1.500 CL
零件。844200V0002
泵送速度：1.500升/秒的
高真空連接法蘭：DN 200 CF
脫穎而出真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF COOLVAC 2.000 CL
零件。844250V0006
泵送速度：2.100升/秒
高真空連接法蘭：DN 250 ISO-K
前真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF COOLVAC 2.000 CL
零件。844250V0002
泵送速度：2.100升/秒
高真空連接法蘭：DN 250 CF
前真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF COOLVAC 3.000 CL
零件。844320V0006
泵送速度：3.000升/秒的
高真空連接法蘭：DN 320 ISO-K
前真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF COOLVAC 3.000 CL
零件。844320V0004
抽水速度：3.000升/秒
高真空連接法蘭：DN 10“ANSI
脫穎而出真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF COOLVAC 5.000 CL
零件。844410
抽氣速度：5.000升/秒
連接法蘭高真空：DN 400 ISO-K
前真空連接法蘭：DN 40 ISO-KF  | COOLVAC 10.000 CL
零件。844610V0006
泵送速度：10.000升/秒的
高真空連接法蘭：DN 500 ISO-K
連接真空法蘭脫穎而出：DN 40 ISO-KF | Leybold冷凍泵#萊寶高真空泵#萊寶COOLVAC低溫泵  | COOLVAC 18.000 CL
零件。844630V0006
泵送速度：18.000升/秒
高真空連接法蘭：DN 630 ISO-F
前真空連接法蘭：DN 63 ISO-K |  | COOLVAC 30.000 CL
零件。DU0073
泵送速度：30.000升/秒
高真空連接法蘭：DN 35“ANSI
法蘭連接前真空：DN 63 ISO-K |  | COOLVAC 60.000 CL
零件。DU0074
泵送速度：57.000升/秒
高真空連接法蘭：DN 1250 ISO-F
前真空連接法蘭：DN 63 ISO-K | Leybold萊寶低溫(wen)泵的工作原理：在低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)泵內設(she)有由液(ye)氦(hai)或(huo)制冷(leng)機(ji)冷(leng)卻到極低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)度(du)(du)的(de)(de)(de)冷(leng)板(ban)(ban)(ban)。它使氣(qi)體凝(ning)(ning)(ning)結(jie)，并保持凝(ning)(ning)(ning)結(jie)物的(de)(de)(de)蒸(zheng)汽壓(ya)力(li)(li)低(di)(di)(di)(di)于(yu)(yu)泵的(de)(de)(de)極限(xian)壓(ya)力(li)(li)，從(cong)而達到抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)作用。低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)的(de)(de)(de)主要作用是低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)冷(leng)凝(ning)(ning)(ning)、低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)吸(xi)(xi)附(fu)(fu)和低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)捕集。①低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)冷(leng)凝(ning)(ning)(ning)：氣(qi)體分(fen)子(zi)冷(leng)凝(ning)(ning)(ning)在冷(leng)板(ban)(ban)(ban)表(biao)面(mian)上或(huo)冷(leng)凝(ning)(ning)(ning)在已冷(leng)凝(ning)(ning)(ning)的(de)(de)(de)氣(qi)體層(ceng)上，其平衡(heng)壓(ya)力(li)(li)基本(ben)上等于(yu)(yu)冷(leng)凝(ning)(ning)(ning)物的(de)(de)(de)蒸(zheng)氣(qi)壓(ya)。抽(chou)(chou)(chou)空(kong)氣(qi)時，冷(leng)板(ban)(ban)(ban)溫(wen)(wen)度(du)(du)必須低(di)(di)(di)(di)于(yu)(yu) 25K；抽(chou)(chou)(chou)氫(qing)時，冷(leng)板(ban)(ban)(ban)溫(wen)(wen)度(du)(du)更低(di)(di)(di)(di)。低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)冷(leng)凝(ning)(ning)(ning)抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)冷(leng)凝(ning)(ning)(ning)層(ceng)厚(hou)(hou)度(du)(du)可達10毫米(mi)左(zuo)右。②低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)吸(xi)(xi)附(fu)(fu)：氣(qi)體分(fen)子(zi)以一個單分(fen)子(zi)層(ceng)厚(hou)(hou) （10-8厘米(mi)數量級）被吸(xi)(xi)附(fu)(fu)到涂(tu)在冷(leng)板(ban)(ban)(ban)上的(de)(de)(de)吸(xi)(xi)附(fu)(fu)劑(ji)表(biao)面(mian)上。吸(xi)(xi)附(fu)(fu)的(de)(de)(de)平衡(heng)壓(ya)力(li)(li)比相同溫(wen)(wen)度(du)(du)下(xia)的(de)(de)(de)蒸(zheng)氣(qi)壓(ya)力(li)(li)低(di)(di)(di)(di)得(de)多。如在 20K時氫(qing)的(de)(de)(de)蒸(zheng)氣(qi)壓(ya)力(li)(li)等于(yu)(yu)大氣(qi)壓(ya)力(li)(li)，用 20K的(de)(de)(de)活性炭吸(xi)(xi)氫(qing)時吸(xi)(xi)附(fu)(fu)平衡(heng)壓(ya)力(li)(li)則低(di)(di)(di)(di)于(yu)(yu)10-8 帕。這樣(yang)就可能在較高溫(wen)(wen)度(du)(du)下(xia)通過(guo)低(di)(di)(di)(di)溫(wen)(wen)吸(xi)(xi)附(fu)(fu)來(lai)進行(xing)抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)。③低溫捕集：在抽(chou)氣溫(wen)度(du)下不能冷凝的氣體(ti)分子，被不斷增長(chang)的可冷凝氣體(ti)層埋葬和吸附(fu)。
一般說來，泵的(de)(de)(de)(de)(de)極(ji)限壓力(li)就是(shi)冷(leng)板(ban)溫(wen)(wen)度下的(de)(de)(de)(de)(de)被冷(leng)凝(ning)氣(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)蒸(zheng)氣(qi)壓力(li)。圖1為(wei)(wei)某(mou)些氣(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)蒸(zheng)氣(qi)壓力(li) -溫(wen)(wen)度關(guan)系曲線。從圖中可(ke)以(yi)看出溫(wen)(wen)度為(wei)(wei)120K時,水的(de)(de)(de)(de)(de)蒸(zheng)氣(qi)壓已低于10-8帕。溫(wen)(wen)度為(wei)(wei)20K時,除氦、氖和(he)(he)氫外(wai),其他(ta)氣(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)蒸(zheng)氣(qi)壓也低于10-8帕。但(dan)由于被抽容器和(he)(he)低溫(wen)(wen)冷(leng)板(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)度不(bu)同，泵的(de)(de)(de)(de)(de)極(ji)限壓力(li)高(gao)于冷(leng)凝(ning)物的(de)(de)(de)(de)(de)蒸(zheng)氣(qi)壓。對于室溫(wen)(wen)下的(de)(de)(de)(de)(de)容器，低溫(wen)(wen)板(ban)為(wei)(wei)20K時,泵的(de)(de)(de)(de)(de)極(ji)限壓力(li)約為(wei)(wei)冷(leng)凝(ning)物蒸(zheng)氣(qi)壓力(li)的(de)(de)(de)(de)(de)4倍(bei)。 |
